Санкт-Петербург: 8-812-402-70-55
Москва: 8-495-125-70-55

info@reductory.ru
Название организации:
Имя:
Номер телефона:
Email:
Город:
Адрес доставки:
Требуемая продукция:
ОтменаПодтвердить

Для насосов, работающих в об­ласти среднего н низкого вакуума

  • 0

Для насосов, работающих в об­ласти среднего н низкого вакуума, величина предельного вакуума не имеет особого значения, так как они в этом случае предназначаются в основном для удаления больших количеств газа из откачиваемых систем.

Быстрота действия — основная характеристика при оценке крио­генного вакуумного насоса, так как во многих случаях практически бывает важно не достижение как можно более низкого давления, а поддержание необходимого давления в системе во время проведения некоторого вакуумно-технологического процесса, сопровождающе­гося большим газовыделением. Это условие можно обеспечить лишь при определенной, иногда, достаточной высокой, быстроте действия насоса.

Максимальное теоретическое значение быстроты действия дости­гается тогда, когда каждая молекула, попадающая на криопанель, «захватывается» ею, т. е. теоретическая быстрота откачки будет чис­ленно равна объему, соответствующему числу молекул газа, ударяю­щихся о поверхность криопанели в единицу времени.

Таким образом, быстрота действия насоса в основном определяет­ся величиной площади криопанели. На практике действительная быстрота действия насоса бывает всегда ниже теоретической, так как не все молекулы, ударившиеся о криопанель, «захватываются» ею. К тому же реализации максимальной теоретической быстроты действия препятствуют жалюзийные теплозащитные экраны, оказы­вающие сопротивление течению откачиваемого газа к криопанели.

Криогенные вакуумные насосы обычно начинают работать после откачки объема камеры форвакуумными насосами, т. е. от давления, равного примерно 10'1 Па.

При работе в различных интервалах давлений происходит изме­нение тепловой нагрузки на криопанель. В связи с этим для охлажде­ния системы требуется различная холодопроизводительность, что нежелательно, поэтому прибегают к различным способам оптимиза­ции работы насосов. Примером выравнивания тепловой нагрузки на насос в различных интервалах давлений и сокращения времени ох­лаждения может служить конструктивная схема (рис. 9), в которой криопанель в виде змеевика 4 во время работы в низком вакууме и захолаживания термически изолируется с помощью колпака 3