Для насосов, работающих в области среднего н низкого вакуума
Для насосов, работающих в области среднего н низкого вакуума, величина предельного вакуума не имеет особого значения, так как они в этом случае предназначаются в основном для удаления больших количеств газа из откачиваемых систем.
Быстрота действия — основная характеристика при оценке криогенного вакуумного насоса, так как во многих случаях практически бывает важно не достижение как можно более низкого давления, а поддержание необходимого давления в системе во время проведения некоторого вакуумно-технологического процесса, сопровождающегося большим газовыделением. Это условие можно обеспечить лишь при определенной, иногда, достаточной высокой, быстроте действия насоса.
Максимальное теоретическое значение быстроты действия достигается тогда, когда каждая молекула, попадающая на криопанель, «захватывается» ею, т. е. теоретическая быстрота откачки будет численно равна объему, соответствующему числу молекул газа, ударяющихся о поверхность криопанели в единицу времени.
Таким образом, быстрота действия насоса в основном определяется величиной площади криопанели. На практике действительная быстрота действия насоса бывает всегда ниже теоретической, так как не все молекулы, ударившиеся о криопанель, «захватываются» ею. К тому же реализации максимальной теоретической быстроты действия препятствуют жалюзийные теплозащитные экраны, оказывающие сопротивление течению откачиваемого газа к криопанели.
Криогенные вакуумные насосы обычно начинают работать после откачки объема камеры форвакуумными насосами, т. е. от давления, равного примерно 10'1 Па.
При работе в различных интервалах давлений происходит изменение тепловой нагрузки на криопанель. В связи с этим для охлаждения системы требуется различная холодопроизводительность, что нежелательно, поэтому прибегают к различным способам оптимизации работы насосов. Примером выравнивания тепловой нагрузки на насос в различных интервалах давлений и сокращения времени охлаждения может служить конструктивная схема (рис. 9), в которой криопанель в виде змеевика 4 во время работы в низком вакууме и захолаживания термически изолируется с помощью колпака 3