Санкт-Петербург: 8-812-402-70-55
Москва: 8-495-125-70-55

info@reductory.ru
Название организации:
Имя:
Номер телефона:
Email:
Город:
Адрес доставки:
Требуемая продукция:
ОтменаПодтвердить

АНАЛИЗ КОНСТРУКЦИЙ КРИОГЕННЫХ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

АНАЛИЗ КОНСТРУКЦИЙ КРИОГЕННЫХ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

Физическая сущность откачивающего действия криогенных ва­куумных насосов (крионасосов) основана на том, что равновесное давление газов иад поверхностью твердого тела, охлажденного до криогенных температур, может быть доведено до очень малых зна­чений, т. е. на способности охлажденных поверхностей конденсиро­вать и удерживать на себе за счет сил межмолекулярного взаимо­действия молекулы газов.

Принципиальная конструктивная схема крионасоса, несмотря на все многообразие его выполнения, содержит, как правило, четыре основных конструктивных элемента: криопанель,           теплозащитный

экран, охлаждающее устройство и корпус [5].

Криопанель — основная (откачивающая) часть насоса представ­ляет собой поверхность (панель), охлажденную до криогенных тем­ператур. На криопанели осуществляется конденсация откачиваемых газов.

Теплозащитный экран обычно располагается между стенками корпуса и криопанелью и охлаждается до промежуточных температур между температурой стенки корпуса и криопанели. Он служит для снижения тепловых нагрузок на криопанель. Иногда не применяют теплозащитных экранов. В этом случае резко возрастают тепловые нагрузки на криопанель и, соответственно, требуются более мощные охлаждающие устройства.

Система охлаждения служит для предварительного охлаждения криопанели от комнатной до рабочей температуры, а также для ком­пенсации тепловых нагрузок на криопанель и поддержания ее на необходимом температурном уровне во время работы крионасоса.

Корпус предназначен для монтажа всех конструктивных элемен­тов насоса. Иногда криопанель с теплозащитным экраном помещается непосредственно в вакуумную камеру, в этом случае корпус камеры является одновременно и корпусом насоса.

Криогенные вакуумные насосы, как и другие виды вакуумных насосов, оцениваются двумя основными характеристиками: предель­ным остаточным давлением и быстротой действия. В то же время величина предельного остаточного давления имеет значение только для насосов, используемых специально для созда­ния наиболее низкого остаточного давления в откачиваемой системе, не имеющей больших газовыделений.