На поверхности откачивающего элемента откачиваемый газ конденсируется
На поверхности откачивающего элемента откачиваемый газ конденсируется, причем в интервале давлений от 760 торр до тройной точки конденсация осуществляется в жидкую фазу, ниже давления тройной точки — в твердую фазу. Жидкий конденсат стекает с поверхности змеевика в поддон 7 и накапливается там. В начальный период работы насоса, когда тепловые нагрузки на откачивающий элемент велики, практически весь хладагент испаряется в змеевике, и на выход его поступает газ. По мере снижения нагрузок на выход змеевика поступает парожидкостная смесь хладагента, которая разделяется на жидкость и пар сепаратором Жидкость накапливается в сосуде 3 и может быть слита оттуда во внутреннюю полость стакана 1 посредством вентиля 5 Этот криогенный конденсационный насос позволяет откачивать реципиенты любых объемов от 760 торр до высокого вакуума. Время достижения предельного вакуума при откачке больших количеств газа и повышенном давлении сокращается за счет эффективного использования паров хладагента и создания равномерной температуры на поверхности откачивающего элемента.
Криогенный конденсационный насос* (рис. 11) имеет корпус с патрубками 1 для присоединения к реципиенту. В корпусе 4 внутри охлаждаемого экрана 5 размещен сосуд 6, заполненный жидким газом. В зоне днища 9 сосуда установлена кольцевая диафрагма 3, имеющая с экраном 5 тепловой контакт. Внутренняя кромка диафрагмы 3 снабжена патрубком 8, обращующим лабиринт с кольцевым выступом 7, выполненным на днище 9. Под кольцевой диафрагмой 3 установлен почерненный экран 2, имеющий тепловой контакт с экраном 5. Это необходимо для защиты днища сосуда от теплового излучения стенок корпуса насоса, которые имеют комнатную температуру. В случае использования насоса до полного расходования жидкого газа днище 9 может быть выполнено плоским. При таком исполнении насоса не предъявляются жесткие требования к выполнению зазора между диафрагмой и днищем сосуда, что позволяет упростить монтаж насоса.
Рис. 11 Криогенный конденсационный насос с кольцевой диафрагмой