Обладает повышенной экономичностью при работе криогенный высоковакуумный насос

Обладает повышенной экономичностью при работе криогенный высоковакуумный насос*, содержащий корпус с размещенным в нем охлаждаемым радиационным экраном, выполненным в виде двухстен­ного цилиндрического сосуда с центральным отверстием для прохода газа. С торцовых сторон к сосуду подключены патрубки, герметично соединенные с криопанелью и магистралью для залива хладагента и вакуумирования его паров. В полости радиационного экрана и криопанели заливается хлад­агент — жидкий азот. Затем пространство над хладагентом в объеме криопанели вакуумируется, и понижается температура хладагента. При понижении температуры на оверхности криопанели начинается процесс криооткачки. 

Таким образом, насос позво­ляет получать сверхвысокий вакуум при использовании для охлажде­ния экрана и криопанели только одного хладагента, что повышает его экономичность.

Криогенный конденсационный насос** (рис. 12) экономичен в ра­боте, имеет внутри корпуса 6 эк­ран 4, охлаждаемый жидким азо­том и гелиевый сосуд 5 Дьюара с размещенной внутри камерой 7. В камеру 7 введен вакуум-провод 2, участок которого, расположенный внутри камеры 7, выполнен из вы­сокотеплопроводного материала, например меди, и заключен в ко­жух 3 с вакуумной изоляцией. Для уменьшения расхода гелия учас­ток вакуум-провода 2, располо­женный за пределами камеры 7, помещен в сосуд 1 с жидким азо­том, а камера 7 герметично соеди­нена с кожухом 3 в зоне горловины

гелиевого сосуда 5. На нижнем торце вакуум-провода 2 установлена диафрагма 8 с отверстием 9, отношение площади сечения которого и площади внутреннего сечения вакуум-провода равно отношению его диаметра D к его длине L.

Рис. 12 Быстродействующий криогенный конденсационный насос

В экран 4 и сосуд 1 заливают жидкий азот, а в сосуд 5 Дьюара — жидкий гелий. Откачиваемый газ, охлажденный в вакуум-проводе 2 до температуры, близкой к температуре жидкого азота, поступает в камеру 7 через отверстие в диафрагме 8 и конденсируется на ее стенках.

В результате быстрота действия насоса уменьшается в несколько раз меньше, по сравнению с теплопритоком из вакуум-провода.